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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6190263(U) 申请公布日期 1986.06.12
申请号 JP19840174958U 申请日期 1984.11.20
申请人 发明人
分类号 H01L43/06;G01P3/487;G01R33/06;G01R33/07;(IPC1-7):H01L43/06 主分类号 H01L43/06
代理机构 代理人
主权项
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