发明名称 Verfahren und Anordnung zur Herstellung eines Oberflaechenschutzes bei Festkoerpern
摘要
申请公布号 DE1295309(B) 申请公布日期 1969.05.14
申请号 DE1963L046425 申请日期 1963.11.26
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 LERTES;KURT DR. RER. NAT.
分类号 C23C8/36;H01L23/29;H01L23/31 主分类号 C23C8/36
代理机构 代理人
主权项
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