发明名称 |
Verfahren und Anordnung zur Herstellung eines Oberflaechenschutzes bei Festkoerpern |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1295309(B) |
申请公布日期 |
1969.05.14 |
申请号 |
DE1963L046425 |
申请日期 |
1963.11.26 |
申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH |
发明人 |
LERTES;KURT DR. RER. NAT. |
分类号 |
C23C8/36;H01L23/29;H01L23/31 |
主分类号 |
C23C8/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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