SEMICONDUCTOR TRANSDUCER.

摘要

Transducteur à semi-conducteurs (10) comprenant un substrat ayant un puits (18) formé sur l'une de ses surfaces et une couche semi-conductrice (14) ayant une première surface (26) liée au substrat autour de la périphérie du puits pour former un diaphragme (30) et une seconde surface (28) sensiblement coplanaire à la première surface et ayant un piédestal (16) faisant saillie à partir de cette dernière et disposé au-dessus du puits. Les parois latérales (32) du piedestal sont sensiblement orthogonales à la seconde surface de la couche semi-conductrice. Des moyens (34) sont prévus pour détecter la déflexion du diaphragme en fonction d'une force appliquée au piédestal. Le substrat possède des protubérances (38) qui s'étendent vers le haut depuis le fond du puits pour limiter la déflexion du diaphragme.