制造择优<111>取向钨的方法

摘要

在1000-10000帕总压下，从含有六氟化钨和氢的气相中在基金属上进行反应沉积(低压化学汽相沉积法)以制备择优取向的W<111>的过程，其特点是：向惰性气中加入乙酰丙酮根合稀土金属水合物(raae earth metal acetyl acetonate hydrate)，并使之与反应性气体六氟化钨和氢一起通过基金属和正在生长的钨层表面。

主权项

1、在1000-10000帕总压下，通过从含有六氟化钨和氢的气相反应沉积在基金属上，制造择优<111>取向钨的方法，其特征在于向惰性载气中加入乙酰丙酮根合稀土金属水合物，并与反应气体六氟化钨和氢一起通过基金属和正在生长的钨层表面。