ELECTRON OPTICAL SYSTEM FOR PRODUCING A SHAPED ELECTRON BEAM WITH VARIABLE CROSS-SECTION IN PARTICULAR FOR PRODUCING MICROSTRUCTURES,申请号DE19823270863-传众专利搜索

发明名称	ELECTRON OPTICAL SYSTEM FOR PRODUCING A SHAPED ELECTRON BEAM WITH VARIABLE CROSS-SECTION IN PARTICULAR FOR PRODUCING MICROSTRUCTURES
摘要
申请公布号	DE3270863(D1)	申请公布日期	1986.06.05
申请号	DE19823270863	申请日期	1982.08.17
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	LISCHKE, BURKHARD, PROF.DR.;FROSIEN, JURGEN, DR.;PLIES, ERICH, DR.;ANGER, KLAUS, DIPL.-ING.
分类号	H01J37/063;(IPC1-7):H01J37/063	主分类号	H01J37/063
代理机构		代理人
主权项
地址