发明名称 ELECTROSTATIC PROBE
摘要
申请公布号 EP0137148(A3) 申请公布日期 1986.06.04
申请号 EP19840108330 申请日期 1984.07.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHAMPION, JAMES ROBERT;YEAGER, CLARKE ALBERT
分类号 G01R29/12;G01R29/24;G03G15/00;(IPC1-7):G03G15/02;H01R11/18 主分类号 G01R29/12
代理机构 代理人
主权项
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