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发明名称 PERFEZIONAMENTO NELLE LAPPATRICI ADATTE IN PARTICOLARE PER LA LAVORAZIONE DI LASTRINE DI SEMICONDUTTORI E SIMILI
摘要
申请公布号 IT1129028(B) 申请公布日期 1986.06.04
申请号 IT19800049624 申请日期 1980.09.05
申请人 SPEEDFAM CORP SOC' DELLO STATO DELL'ILLINOIS 发明人 CESNA JOSEPH V
分类号 B24B37/04;(IPC1-7):B24B/ 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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