| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61114452(A) |
申请公布日期 |
1986.06.02 |
| 申请号 |
JP19850192151 |
申请日期 |
1985.09.02 |
| 申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
JIEEMUSU PATORITSUKU BIISUREI |
| 分类号 |
H01J37/16;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/18;H01J37/30;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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