发明名称 CUTTING METHOD
摘要
申请公布号 JPS61114813(A) 申请公布日期 1986.06.02
申请号 JP19840234995 申请日期 1984.11.09
申请人 HITACHI SEIKO LTD 发明人 MATSUI SATOSHI
分类号 B28D1/00;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304 主分类号 B28D1/00
代理机构 代理人
主权项
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