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经营范围
发明名称
LASER ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号
GB8609772(D0)
申请公布日期
1986.05.29
申请号
GB19860009772
申请日期
1986.04.22
申请人
STC PLC
发明人
分类号
G03F7/42;H01L21/268;H01L21/311;(IPC1-7):B44C1/22
主分类号
G03F7/42
代理机构
代理人
主权项
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