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发明名称 VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN EINES MUSTERS AUF EIN TARGET MITTELS EINES KORPUSKULARSTRAHLAPPARATES
摘要
申请公布号 DD236207(A1) 申请公布日期 1986.05.28
申请号 DD19850274836 申请日期 1985.04.01
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,,,,DD 发明人 HAHN,EBERHARDT,DD
分类号 H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 H01J37/21
代理机构 代理人
主权项
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