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发明名称 METHOD OF SELECTIVELY FORMING AN INSULATION LAYER
摘要
申请公布号 EP0162711(A3) 申请公布日期 1986.05.28
申请号 EP19850303599 申请日期 1985.05.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 HORIOKA, KEIJI C/O PATENT DIVISION;OKANO, HARUO C/O PATENT DIVISION;SEKINE, MAKOTO C/O PATENT DIVISION
分类号 C04B41/45;C04B41/81;C23C8/04;C23C16/04;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/314;C23C8/36 主分类号 C04B41/45
代理机构 代理人
主权项
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