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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTOECHIOMETRISCHEN OXIDEN AUF METALLEN UND HALBLEITERN
摘要
申请公布号 DD236208(A1) 申请公布日期 1986.05.28
申请号 DD19850275172 申请日期 1985.04.15
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 MENDE,GUENTER,DD;FINSTER,JOACHIM,DD;SCHULZE,DIETER,DD
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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