发明名称 A PHOTOMASK AND METHOD OF FABRICATING SAME
摘要
申请公布号 DE3174495(D1) 申请公布日期 1986.05.28
申请号 DE19813174495 申请日期 1981.12.17
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 BANKS, EDWARD LAWRENCE;TRUAX, BRUCE EDWARD;WATKINS, LAURENCE SHRAPNELL
分类号 B32B3/22;G03C5/00;G03F1/00;(IPC1-7):B32B3/22;B32B31/06 主分类号 B32B3/22
代理机构 代理人
主权项
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