| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DUENNEN HALBLEITERFILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3541587(A1) |
申请公布日期 |
1986.05.28 |
| 申请号 |
DE19853541587 |
申请日期 |
1985.11.25 |
| 申请人 |
SONY CORP. |
发明人 |
NOGUCHI,TAKASHI;HAYASHI,HISAO;OHSHIMA,TAKEFUMI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/265;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/18;H01L29/04;H01L29/78;H01L21/84;C30B1/02;C30B31/22;C30B29/06 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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