| 发明名称 |
OPTICAL CALIBRATION TEST STANDARD BODY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61108950(A) |
申请公布日期 |
1986.05.27 |
| 申请号 |
JP19850126406 |
申请日期 |
1985.06.12 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP |
发明人 |
RANDOORU ROI UIRIAMUSU |
| 分类号 |
G01M11/00;G01B11/30;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;G03F1/00;G03F1/08;H01L21/66 |
主分类号 |
G01M11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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