发明名称 ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS61107648(A) 申请公布日期 1986.05.26
申请号 JP19850170975 申请日期 1985.08.02
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 DERETSUKU EITOKIN
分类号 H01J37/05;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
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