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发明名称 APPARATUS FOR ELECTROCHEMICAL-MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 SU1232405(A1) 申请公布日期 1986.05.23
申请号 SU19843782767 申请日期 1984.08.24
申请人 TULSKIJ PK T I MASHINOSTROENIYA 发明人 GOLOVANCHIKOV MIKHAIL I,SU;SOBOLEV EVGENIJ V,SU;GARIN VALENTIN P,SU;NIKOLSKIJ IGOR YU,SU
分类号 B23H5/06;(IPC1-7):B23H5/06 主分类号 B23H5/06
代理机构 代理人
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