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发明名称 ASHING FURNACE
摘要
申请公布号 JPS61102599(A) 申请公布日期 1986.05.21
申请号 JP19850233128 申请日期 1985.10.18
申请人 ALKEM GMBH 发明人 FURIIDORITSUHI UIRUHERUMU REEDEBURINKU;KAARU PUREHITO RINKU
分类号 G21F9/02;F23G5/10;F23G5/14;F23G7/00;G21F9/14;G21F9/32 主分类号 G21F9/02
代理机构 代理人
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