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发明名称 DUAL ADAPTER TYPE SUBSTRATE INSPECTING MACHINE
摘要
申请公布号 JPS6199873(A) 申请公布日期 1986.05.17
申请号 JP19840221011 申请日期 1984.10.19
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 MARUO KAZUYOSHI;TODA MASAYOSHI;NISHIZAWA TAKESHI;KANO RIICHI;KAI OSAMU;HASHIMOTO MITSUHIRO
分类号 G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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