发明名称 MANUFACTURE OF PHOTOSEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6197888(A) 申请公布日期 1986.05.16
申请号 JP19840217380 申请日期 1984.10.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WADA OSAMU;NOBUHARA HIROYUKI
分类号 H01L27/15;H01L21/302;H01S5/00 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
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