| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERDAMPEN VAN MATERIAAL EN HET DAARNA NEERSLAAN HIERVAN OP SUBSTRATEN IN EEN OPDAMPINRICHTING. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL179660(B) |
申请公布日期 |
1986.05.16 |
| 申请号 |
NL19770007659 |
申请日期 |
1977.07.08 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT FUER HOCHVAKUUMTECHNIK UND DUENNE SCHICHTEN TE BALZERS, LIECHTENSTEIN. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/38 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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