发明名称 PRODUCTION METHOD OF METAL CONTACT LAYERS IN SEMICONDUCTORS STRUCTURES
摘要
申请公布号 CS242655(B1) 申请公布日期 1986.05.15
申请号 CS19840008720 申请日期 1984.11.15
申请人 MAY,JAN,CS;PINA,BOHUMIL,CS;LOUDA,JAROMIR,CS;HARTMAN,JAN,CS;KUCERA,KAREL,CS;HOMOLA,JAROSLAV,CS;KALENDA,LIBOR,CS 发明人 MAY,JAN,CS;PINA,BOHUMIL,CS;LOUDA,JAROMIR,CS;HARTMAN,JAN,CS;KUCERA,KAREL,CS;HOMOLA,JAROSLAV,CS;KALENDA,LIBOR,CS
分类号 H01L21/428;(IPC1-7):H01L21/428 主分类号 H01L21/428
代理机构 代理人
主权项
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