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发明名称
LIQUID PHASE GROWTH PROCESS
摘要
申请公布号
JPS6197189(A)
申请公布日期
1986.05.15
申请号
JP19840216654
申请日期
1984.10.16
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SASAI YOICHI;KUBO MINORU
分类号
C30B19/10;C30B19/00;C30B19/06;H01L21/208
主分类号
C30B19/10
代理机构
代理人
主权项
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