| 发明名称 |
REACTION TUBE FOR REDUCED PRESSURE HOT WALL CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6197193(A) |
申请公布日期 |
1986.05.15 |
| 申请号 |
JP19850241325 |
申请日期 |
1985.10.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI RYOKICHI;SODA TAKEMI;TOCHIKUBO HIROO;KANAI AKIRA;KOGIRIMA MASAHIKO |
| 分类号 |
C30B25/08;C30B25/14;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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