发明名称 POLYSILICON FILLET
摘要
申请公布号 JPS6196734(A) 申请公布日期 1986.05.15
申请号 JP19850230066 申请日期 1985.10.17
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 AJITSUTO SHINGU MANOCHIYA
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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