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发明名称 APPARATUS FOR REMOVING OF SEMICONDUCTORS ELEMENTS
摘要
申请公布号 CS242487(B1) 申请公布日期 1986.05.15
申请号 CS19840002563 申请日期 1984.04.03
申请人 SPICKA,JAROSLAV,CS;JURICA,JAN,CS 发明人 SPICKA,JAROSLAV,CS;JURICA,JAN,CS
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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