发明名称 A METHOD OF GROWING SILICATE GLASS LAYERS EMPLOYING A CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION PROCESS
摘要
申请公布号 IE50552(B1) 申请公布日期 1986.05.14
申请号 IE19800002663 申请日期 1980.12.17
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人
分类号 C23C16/40;C23C16/455;C30B31/02;H01L21/225;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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