发明名称 DISASSORBITORE FOTORESISTIVO PRIVO DI FENOLO
摘要
申请公布号 IT1125196(B) 申请公布日期 1986.05.14
申请号 IT19760068702 申请日期 1976.06.08
申请人 ALLIED CHEMICAL CORP 发明人
分类号 H01L21/30;C08F2/00;G03F7/00;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):C08F/ 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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