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发明名称 METHOD OF GROWING AN ALLOY FILM BY A LAYER-BY-LAYER PROCESS ON A SUBSTRATE, AND A METHOD OF MAKING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0110468(B1) 申请公布日期 1986.05.14
申请号 EP19830201640 申请日期 1983.11.17
申请人 PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 DOBSON, PETER JAMES;FOXON, CHARLES THOMAS;NEAVE, JAMES HAMILTON
分类号 G01N23/207;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/54;C30B23/02;C30B23/08;C30B29/52;G01B15/02;G01N23/20;G01N27/00;(IPC1-7):C30B23/02 主分类号 G01N23/207
代理机构 代理人
主权项
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