发明名称
摘要
申请公布号 JPS6118736(B2) 申请公布日期 1986.05.14
申请号 JP19770011323 申请日期 1977.02.04
申请人 ASAHI CHEMICAL IND 发明人 ABE YASUKI;KATO MICHIO
分类号 C08F2/00;C08F2/48;C08F2/50;C08F8/00;C08F8/14;C08F8/44;C08F299/00;G03F7/004;H01L21/027;H01L21/312 主分类号 C08F2/00
代理机构 代理人
主权项
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