| 发明名称 |
APPAREIL ET PROCEDE DE REPRODUCTION OPTIQUE POUR LA FABRICATION DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2456338(B1) |
申请公布日期 |
1986.05.09 |
| 申请号 |
FR19800010517 |
申请日期 |
1980.05.09 |
| 申请人 |
ELECTROMASK INC |
发明人 |
CHRISTIAN VAN PESKI ET WILLIAM L. MEISENHEIMER;MEISENHEIMER WILLIAM L |
| 分类号 |
H01L21/30;G03B27/52;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G03B27/42;G03F1/00 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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