| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF D'ALLUMAGE D'UNE SOURCE D'IONS HYPERFREQUENCE |
| 摘要 |
<P>PROCEDE ET DISPOSITIF D'ALLUMAGE D'UNE SOURCE D'IONS HYPERFREQUENCE.</P><P>LE PROCEDE D'ALLUMAGE D'UNE SOURCE D'IONS HYPERFREQUENCE UTILISANT DE FACON CONNUE UNE CAVITE RESONNANTE 9 ALIMENTEE PAR UN GAZ OU UNE VAPEUR D'UN MATERIAU DESTINE A FORMER UN PLASMA, UN SYSTEME D'INJECTION 8 DANS LA CAVITE D'UNE PUISSANCE HYPERFREQUENCE ET UN SYSTEME D'EXTRACTION 14 DES IONS DU PLASMA HORS DE LA CAVITE, SE CARACTERISE EN CE QUE LA CAVITE ETANT DU TYPE MULTIMODE, ON CREE, AU SEIN DU MILIEU A IONISER, DES GERMES ELECTRONIQUES ET L'ON ENTRETIENT LE PLASMA APRES SON ALLUMAGE A L'AIDE DE LA SEULE PUISSANCE HYPERFREQUENCE.</P>
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| 申请公布号 |
FR2572847(A1) |
申请公布日期 |
1986.05.09 |
| 申请号 |
FR19840016884 |
申请日期 |
1984.11.06 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
RENE GUARLANDRIS, PAUL LUDWIG, JEAN-CLAUDE ROCCO ET FRANCOIS ZADWORNY;LUDWIG PAUL;ROCCO JEAN-CLAUDE;ZADWORNY FRANCOIS |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J27/16;H05H1/46;(IPC1-7):H01J27/16 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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