发明名称 ISOLATION VALVE
摘要
申请公布号 AU551636(B2) 申请公布日期 1986.05.08
申请号 AU19820081544 申请日期 1982.03.16
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 MASATSUGU IZU;DAVID A. GATTUSO
分类号 H01L21/302;C23C14/56;C23C16/54;F16J15/16;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H01L31/04;(IPC1-7):H01L31/18;F16K13/00;H01L21/02;H01L21/105 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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