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发明名称
GASBORNE STAGE POSITIONER FOR TWO DIRECTIONS X AND Y
摘要
申请公布号
EP0076566(B1)
申请公布日期
1986.05.07
申请号
EP19820304332
申请日期
1982.08.17
申请人
CONTROL DATA CORPORATION
发明人
TUCKER, THEODORE WORTH
分类号
F16C32/06;B23Q1/00;B23Q1/38;B23Q1/62;G03F7/20;H01J37/20;H01L21/027;H05K13/00;(IPC1-7):F16C32/06;H01L21/68
主分类号
F16C32/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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