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发明名称 VORRICHTUNG ZUR FERTIGUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD235524(A1) 申请公布日期 1986.05.07
申请号 DD19850274179 申请日期 1985.03.18
申请人 VEB HALBLEITERWERK,,,,DD 发明人 LORENZ,FRIEDEL,DD;VOIGT,LOTHAR,DD;RIEPEL,GEORG,DD;KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD;HANSCH,CLEMENS,DD
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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