| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ABSCHEIDEN VON WOLFRAM AUF LEITENDEN UND HALBLEITENDEN OBERFLAECHEN EINES SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3538328(A1) |
申请公布日期 |
1986.05.07 |
| 申请号 |
DE19853538328 |
申请日期 |
1985.10.28 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO. |
发明人 |
WINSTON STOLL,ROBERT;RISLEY MACLAURY,MICHAEL;HARVEY WILSON,RONALD |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/04;C23C16/14;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3105;(IPC1-7):C23C16/14 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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