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发明名称 VERFAHREN ZUR AUTODOPINGUNTERDRUECKUNG AN EPITAKTISCHEN HALBLEITERSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD235522(A1) 申请公布日期 1986.05.07
申请号 DD19850274062 申请日期 1985.03.13
申请人 ADW DER DDR,DD 发明人 KUEHNE,HEINZ,DD;KNOBLOCH,HELMUT,DD;KROENERT,PETER,DD;MORGENSTERN,THOMAS,DD;MALZE,WILFRIED,DD
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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