| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CHECKING ERROR POSITION IN ELECTRICCIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6188541(A) |
申请公布日期 |
1986.05.06 |
| 申请号 |
JP19850199296 |
申请日期 |
1985.09.09 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HANSU PEETAA FUOIERUBAUMU |
| 分类号 |
H01J37/28;G01R31/26;G01R31/308;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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