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发明名称 WAFER INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6188107(A) 申请公布日期 1986.05.06
申请号 JP19850128435 申请日期 1985.06.14
申请人 YOOZEFU BIRE;JIIKUFURIIDO FUNKURINGAA 发明人 YOOZEFU BIRE;JIIKUFURIIDO FUNKURINGAA
分类号 G01R31/26;G01B11/00;G01B11/24;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/00;G03F7/20;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/24;G01N21/88 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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