发明名称 APPAREIL POUR TIRER UNE NAPPE DE SILICIUM DENDRITIQUE D'UN BAIN DE SILICIUM
摘要 <P>A.APPAREIL POUR TIRER UNE NAPPE DE SILICIUM DENDRITIQUE D'UN BAIN DE SILICIUM.</P><P>B.APPAREIL COMPORTANT AU MOINS UNE BARRIERE CARACTERISEE EN CE QU'ELLE EST EN FORME DE PLAGE 50A AYANT SUR SES DEUX COTES LATERAUX 54 DES DECOUPES 58 POUR LE PASSAGE DU SILICIUM FONDU.</P><P>C.L'INVENTION S'APPLIQUE A LA FABRICATION DES SEMI-CONDUCTEURS.</P>
申请公布号 FR2572424(A1) 申请公布日期 1986.05.02
申请号 FR19850014957 申请日期 1985.10.09
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP 发明人 WILLIAM CLYDE HIGGINBOTHAM
分类号 C30B15/02;C30B15/10;C30B15/12;C30B15/34;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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