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发明名称 THIN FILM FORMING
摘要
申请公布号 GB8607278(D0) 申请公布日期 1986.04.30
申请号 GB19860007278 申请日期 1986.03.24
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/205;C23C14/35;C23C16/40;C23C16/48;C23C16/511;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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