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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE3538855(A1)
申请公布日期
1986.04.30
申请号
DE19853538855
申请日期
1985.10.31
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
SHIMIDA,KIZASHI;AKIYAMA,TATSUO;KOSHINO,YUTAKA
分类号
H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/18;H01L29/76
主分类号
H01L21/338
代理机构
代理人
主权项
地址
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