发明名称 METHOD FOR MAKING INTEGRATED MOS CIRCUITS BY THE SILICON-GATE TECHNIQUE
摘要
申请公布号 EP0014303(B1) 申请公布日期 1986.04.30
申请号 EP19800100014 申请日期 1980.01.03
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WIDMANN, DIETRICH, DR.
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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