| 发明名称 |
MASSPRODUCTION OF SILICON DEFICIENCY FREE FILM ON INTEGRATEDCIRCUIT WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6182422(A) |
申请公布日期 |
1986.04.26 |
| 申请号 |
JP19850163795 |
申请日期 |
1985.07.24 |
| 申请人 |
BURROUGHS CORP |
发明人 |
KIYASHIMIA JIYON UONZOUIKUZU;GUREN ROSU KIYANFUIIRUDO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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