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发明名称 FORMING NEGATIVE PATTERNS IN PHOTORESIST LAYER
摘要
申请公布号 IE852643(L) 申请公布日期 1986.04.26
申请号 IE19850002643 申请日期 1985.10.25
申请人 UCB ELECTRONICS S.A. 发明人
分类号 G03F7/023;G03C1/00;G03C5/00;G03F7/022;G03F7/26;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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