发明名称 METHOD FOR RESISTOR TRIMMING BY METAL MIGRATION
摘要 Procédé de réglage fin d'une résistance diffusée ou implantée (43) se trouvant dans un circuit intégré. Cette technique de réglage fin d'une résistance utilise des impulsions de courant d'intensité élevée et des contacts métalliques de forme géométrique (50, 51). Les impulsions de courant réagissent avec les atomes métalliques électropositifs dans le conducteur à film mince et provoquent la migration (49) des atomes métalliques vers une autre position, modifiant ainsi la valeur de la résistance en diminuant progressivement la conductivité de la résistance.
申请公布号 WO8602492(A1) 申请公布日期 1986.04.24
申请号 WO1985US01713 申请日期 1985.09.09
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 VYNE, ROBERT, L.
分类号 H01L27/04;H01C17/26;H01L21/326;H01L21/822;H01L27/01;H01L29/8605;(IPC1-7):H01L29/167;H01L29/44 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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