发明名称 METHOD OF TESTING PHYSICAL-AND-MECHANICAL CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR PLATE DISTURBED SURFACE LAYER
摘要
申请公布号 SU1226069(A1) 申请公布日期 1986.04.23
申请号 SU19843757077 申请日期 1984.06.21
申请人 MI RADIOTEKHNICHESKIJ INSTITUT 发明人 POLONIN ALEKSANDR K,SU;DIDKOVSKIJ VITALIJ S,SU;MUZYCHENKO OLEG M,SU;KVASOV NIKOLAJ T,SU;PROKHORENKO NIKOLAJ L,SU
分类号 G01H13/00;(IPC1-7):G01H13/00 主分类号 G01H13/00
代理机构 代理人
主权项
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