发明名称 |
Precured split hinge for photomask assembly |
摘要 |
Hinged glass photomask assemblies for photolithographic processes are disclosed wherein a flexible polymeric split hinge is used to join glass plates thereby providing for greater flexibility of the phototool.
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申请公布号 |
US4584216(A) |
申请公布日期 |
1986.04.22 |
申请号 |
US19840621303 |
申请日期 |
1984.06.15 |
申请人 |
PPG INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
KENWORTHY, JAMES S.;MOTYKA, VICTOR;SPINDLER, ROBERT G. |
分类号 |
B32B17/10;H05K3/00;(IPC1-7):B32B17/06;B44F1/06;G03B27/04 |
主分类号 |
B32B17/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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