| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING FINAL POINT OF ETCHING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6176690(A) |
申请公布日期 |
1986.04.19 |
| 申请号 |
JP19850087350 |
申请日期 |
1985.04.23 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC |
发明人 |
JIYON DEII SHIEBETSUTSU;CHIYAARUZU KEI HARISU;TOMU JIEI SHIYAFUNAA;SHIEIN AARU PAAMAA |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F1/00;C23F1/08;C23F4/00;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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